平成２６年度（２０１４年度）第10回物理教室談話会

題目	微小角入射X線回折をもちいた有機半導体薄膜の成長過程観察技術
講師	廣沢　一郎 先生 （公益財団法人高輝度光科学研究センター産業利用推進室 グループリーダー）
日時	平成26年11月20日　16：30～
場所	コラボレーション棟３Fコラボレーション室
概要	有機半導体は有機TFTなどのスイッチング素子の材料としても注目され活発な研究活動が行われている。有機TFTでは半導体中のキャリアが絶縁膜との界面近傍を移動すると考えられているために、薄膜成長の初期における結晶構造、結晶配向制御が特性向上に不可欠である。 　そこで、真空蒸着による薄膜形成中に微小角入射Ｘ線回折による構造評価、及びTFTのS-D間電流のゲート電圧依存性測定を同時に行うことができるチャンバーを開発するとともに、二次元検出器をもちいて広い逆格子空間内の回折を迅速に測定する技術を構築した。 　この装置を用いて明らかになったペンタセン、フッ素化ペンタセン共蒸着膜に現れる合金相の組成と両極性半導体相の関係、薄膜でしか得られないジスチリルオリゴチオフェン結晶の結晶構造、及びチオフェン系半導体薄膜の成長様式と導電性の関係について得られた知見を紹介する。 　なお、時間に余裕があれば技術開発に着手した硬X線光電子分光をもちいた有機半導体ゲートスタック内の電位分布の印加電圧応答の測定技術についても紹介したい。
世話人	横谷　尚睦（内線：7897）